Механични, химични и електрохимични методи за обработка на повърхността на полупроводниковите материали. Химично разяждане на Si и Ge. Възникнали и проявени дефекти....
Механични, химични и електрохимични методи за обработка на повърхността на полупроводниковите материали. Химично разяждане на Si и Ge. Възникнали и проявени дефекти...